X 射線熒光法的精準(zhǔn)應(yīng)用

費(fèi)希爾 X 射線測(cè)厚儀基于X 射線熒光（XRF）原理實(shí)現(xiàn)無(wú)損測(cè)量，核心邏輯可概括為 "激發(fā) - 探測(cè) - 分析" 三步：

射線激發(fā)：設(shè)備內(nèi)置微焦點(diǎn) X 射線管（多采用鎢陽(yáng)極）發(fā)射初級(jí) X 射線，穿透被測(cè)材料表層；

熒光產(chǎn)生：材料原子吸收能量后釋放特征熒光射線，其能量與元素種類對(duì)應(yīng)，強(qiáng)度與厚度正相關(guān)；

信號(hào)解析：通過(guò)比例計(jì)數(shù)管、硅 PIN 二極管或硅漂移探測(cè)器（SDD）捕捉熒光信號(hào)，經(jīng)數(shù)字脈沖處理器（DPP+）轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，最終由軟件計(jì)算厚度值。

這一技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.01μm 級(jí)精度測(cè)量，且支持真空與空氣兩種測(cè)量環(huán)境，能適應(yīng)最高 400℃的樣品溫度。